Countries
ログイン

Clean Room System

クリーンルーム認定ベルトリニアアクチュエータ

DIN EN ISO 14644-1国際認定のクリーンルームシステム

 

クリーンルームシステムファミリーはベルト駆動のリニアアクチュエータでクリーンルームでの使用のために設計されたアクチュエータです。

ドイツシュトゥットガルトのIPA Fraunhofer InstituteによってISO3 (DIN EN ISO 14644-1)の認定を受けています。

キャリッジが移動する長手方向の隙間を特殊シールによってカバーし、また両サイドのヘッド部分につけられた吸気ダクトによって0.8Barでバキュームすることによって、アクチュエータ内部から外部環境へのパーティクルの飛散を防ぎます。またアクチュエータ内部に使用されている部品は全てステンレススチールもしくは低発塵用の表面処理がされております。使用されているベアリングやリニアガイドには、クリーンルーム用グリースもしくは真空用グリースが封入されます。

 

主要アプリケーション

  • 半導体装置
  • 医療装置
型式 製品ファミリー
製品 ONE
サイズ ボール
ローラー
駆動方法 ベルト
ボールねじ
ラックピニオン
防錆
プロテクション
サイズ 50-80-110
キャリッジ一個あたりの最大定格荷重 [N] Fx 4410**
Fy 79000*
Fz 79000*
キャリッジ一個あたりの最大静的許容モーメント [Nm] Mx 1300*
My 7110*
Mz 7110*
使用可能最高速度 [m/s] 5
最高加速度 [m/s2] 50
繰り返し位置決め精度 [mm] ± 0.05
最大可能ストローク [mm] 6000***
* 十分な安全率を確保するため、記載の値の20%以内での使用をお勧めいたします。
** 十分な安全率を確保するため、記載の値の80%以内での使用をお勧めいたします。
*** つなぎ仕様によって更に長いストロークが製作可能です。
  • リニアアクチュエータサイズ: ONE50, ONE80, ONE110
  • クリーンルームISO3 (DIN EN ISO 14664-1)
  • 低発塵の部品を使用
  • クリーンルーム用特殊グリース封入
  • 最高運転速度: 5m/s
  • 最高加速度: 50 m/s
  • 繰り返し位置決め精度: 0.05mm
  • 最大静定格荷重: Fx 4410 N, Fy 79.000 N, Fz 79.000 N
  • 最大静的許容モーメント: Mx 1.300 Nm, My 7.110 Nm, Mz 7.110 Nm

Clean Room Systemに関するお問い合わせ。

    個人情報保護の取り扱い方針に同意する。

    * 入力必須項目