洁净室等级 ISO 3
专用真空系统，带有：
• 沿滑块移动路线贴有密封条
• 0.8 真空泵连接至 2 根真空管，
分别位于驱动头和怠速头的内部
高重复精度，高动态能力
洁净室系统执行器的重复精度可达 ±0,05 mm
高动态能力
• 速度高达 7 m/s
• 加速度高达 20 m/s²。
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