クリーンルームクラス ISO 3
以下を備えた特殊な真空システム:
• スライドが移動する開口部に沿ったサイドシール
• ドライブヘッドとアイドルヘッドの内部にある
2 本のバキュームパイプに接続された 0.8 バキュームポンプ
高い再現性精度
±0.05 mm の高い再現性の精度を実現するクリーンルームシステムアクチュエータ
高ダイナミクス
• 最大 7 m/s のスピード
• 最大加速度 20 m/s²
技術的な詳細をご確認頂き、
Clean Room Systemアクチュエータを選択してください。
| 型式 | リニアガイドタイプ | 駆動タイプ | 防塵仕様 | スライダー一個 当たりの 最大許容荷重 [N] | 最高運転 可能速度 [m/s] | 最大加速度 [m/s²] | 繰り返し 位置決め精度 [mm] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ONE | ボール | ベルト | 吸引で保護 | 4980 | 5 | 50 | ± 0.05 |
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