Clean Room System
クリーンルーム認定ベルトリニアアクチュエータ
DIN EN ISO 14644-1国際認定のクリーンルームシステム
クリーンルームシステムファミリーはベルト駆動のリニアアクチュエータでクリーンルームでの使用のために設計されたアクチュエータです。
ドイツシュトゥットガルトのIPA Fraunhofer InstituteによってISO3 (DIN EN ISO 14644-1)の認定を受けています。
キャリッジが移動する長手方向の隙間を特殊シールによってカバーし、また両サイドのヘッド部分につけられた吸気ダクトによって0.8Barでバキュームすることによって、アクチュエータ内部から外部環境へのパーティクルの飛散を防ぎます。またアクチュエータ内部に使用されている部品は全てステンレススチールもしくは低発塵用の表面処理がされております。使用されているベアリングやリニアガイドには、クリーンルーム用グリースもしくは真空用グリースが封入されます。
主要アプリケーション
- 半導体装置
- 医療装置
| 型式 | 製品ファミリー |
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|---|---|---|---|
| 製品 | ONE | ||
| サイズ | ボール |  |
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| ローラー | |||
| 駆動方法 | ベルト |  |
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| ボールねじ | |||
| ラックピニオン | |||
| 防錆 |  |
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| プロテクション |  |
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| サイズ | 50-80-110 | ||
| キャリッジ一個あたりの最大定格荷重 [N] | Fx | 4410 | |
| Fy | 79000 | ||
| Fz | 79000 | ||
| キャリッジ一個あたりの最大静的許容モーメント [Nm] | Mx | 1300 | |
| My | 7110 | ||
| Mz | 7110 | ||
| 使用可能最高速度 [m/s] | 5 | ||
| 最高加速度 [m/s2] | 50 | ||
| 繰り返し位置決め精度 [mm] | ± 0.05 | ||
| 最大可能ストローク [mm] | 6000* | ||
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アプリケーションのタイプによって確認が必要です。 詳細な技術資料は、www.rollon.comよりカタログをダウンロードしてご参照ください。 * つなぎ仕様で更に長いストロークも可能です。 |
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- リニアアクチュエータサイズ: ONE50, ONE80, ONE110
- クリーンルームISO3 (DIN EN ISO 14664-1)
- 低発塵の部品を使用
- クリーンルーム用特殊グリース封入
- 最高運転速度: 5m/s
- 最高加速度: 50 m/s2
- 繰り返し位置決め精度: 0.05mm
- 最大静定格荷重: Fx 4410 N, Fy 79.000 N, Fz 79.000 N
- 最大静的許容モーメント: Mx 1.300 Nm, My 7.110 Nm, Mz 7.110 Nm
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