クリーンルームクラス ISO 3
以下を備えた特殊な真空システム:
• スライドが移動する開口部に沿ったサイドシール
• ドライブヘッドとアイドルヘッドの内部にある
2 本のバキュームパイプに接続された 0.8 バキュームポンプ
高い再現性精度
±0.05 mm の高い再現性の精度を実現するクリーンルームシステムアクチュエータ
高ダイナミクス
• 最大 7 m/s のスピード
• 最大加速度 20 m/s²
技術的な詳細をご確認頂き、
Clean Room Systemアクチュエータを選択してください。
お客様が直面している課題は何ですか?
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