Clean Room System

クリーンルーム認定ベルトリニアアクチュエータ

主な特徴:

  • 高速運転V=7 m/s, A= 20 m/s2
  • Clean room class ISO 3
  • バキューム機構による 低発塵仕様
  • 防錆のための様々なタイプの表面処理を用意
  • 繰り返し位置決め精度 ±0,05 mm

製品概要

DIN EN ISO 14644-1国際認定のクリーンルームシステム

 

クリーンルームシステムファミリーはベルト駆動のリニアアクチュエータでクリーンルームでの使用のために設計されたアクチュエータです。

ドイツシュトゥットガルトのIPA Fraunhofer InstituteによってISO3 (DIN EN ISO 14644-1)の認定を受けています。

キャリッジが移動する長手方向の隙間を特殊シールによってカバーし、また両サイドのヘッド部分につけられた吸気ダクトによって0.8Barでバキュームすることによって、アクチュエータ内部から外部環境へのパーティクルの飛散を防ぎます。またアクチュエータ内部に使用されている部品は全てステンレススチールもしくは低発塵用の表面処理がされております。使用されているベアリングやリニアガイドには、クリーンルーム用グリースもしくは真空用グリースが封入されます。

 

主要アプリケーション

  • 半導体装置
  • 医療装置

主な特徴

Belt linear actuators, iso3 linear actuators, clean room linear actuators, clean room linear units, clean room system, rollon, belt drive

高速運転V=7 m/s, A= 20 m/s2

Belt linear actuators, iso3 linear actuators, clean room linear actuators, clean room linear units, clean room system, rollon, belt drive

Clean room class ISO 3

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バキューム機構による 低発塵仕様

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防錆のための様々なタイプの表面処理を用意

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繰り返し位置決め精度 ±0,05 mm

技術データ

  • リニアアクチュエータサイズ: ONE50, ONE80, ONE110
  • クリーンルームISO3 (DIN EN ISO 14664-1)
  • 低発塵の部品を使用
  • クリーンルーム用特殊グリース封入
  • 最高運転速度: 5m/s
  • 最高加速度: 50 m/s
  • 繰り返し位置決め精度: 0.05mm
  • 最大静定格荷重: Fx 4410 N, Fy 79.000 N, Fz 79.000 N
  • 最大静的許容モーメント: Mx 1.300 Nm, My 7.110 Nm, Mz 7.110 Nm