クリーンルームシステムファミリーはベルト駆動のリニアアクチュエータでクリーンルームでの使用のために設計されたアクチュエータです。
キャリッジが移動する長手方向の隙間を特殊シールによってカバーし、また両サイドのヘッド部分につけられた吸気ダクトによって0.8Barでバキュームすることによって、アクチュエータ内部から外部環境へのパーティクルの飛散を防ぎます。またアクチュエータ内部に使用されている部品は全てステンレススチールもしくは低発塵用の表面処理がされております。使用されているベアリングやリニアガイドには、クリーンルーム用グリースもしくは真空用グリースが封入されます。
主要アプリケーション
- 半導体装置
- 医療装置
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