Clean Room System

クリーンルーム対応設計

アルミニウムプロファイルを備えたベルト駆動リニアアクチュエータ。

特殊な真空システムにより、リニアユニットが設置されている環境での粒子の排出を防止できます。

クリーンルーム用リニアアクチュエータ

クリーンルームクラス ISO 3

以下を備えた特殊な真空システム:
• スライドが移動する開口部に沿ったサイドシール
• ドライブヘッドとアイドルヘッドの内部にある
2 本のバキュームパイプに接続された 0.8 バキュームポンプ

高い再現性精度

±0.05 mm の高い再現性の精度を実現するクリーンルームシステムアクチュエータ
クリーンルーム用リニアアクチュエータ

高ダイナミクス

• 最大 7 m/s のスピード
• 最大加速度 20 m/s²

 

クリーンルーム用リニアアクチュエータ

技術的な詳細をご確認頂き、
Clean Room Systemアクチュエータを選択してください。

型式 リニアガイドタイプ 駆動タイプ 防塵仕様 スライダー一個 当たりの 最大許容荷重 [N] 最高運転 可能速度 [m/s] 最大加速度 [m/s²] 繰り返し 位置決め精度 [mm]
ONE
ボール
ベルト
吸引で保護
4980
5
50
± 0.05

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