

클린룸 등급 ISO 3
다음 항목이 탑재된 특수 진공 시스템:
• 슬라이드가 움직이는 구멍을 따라 있는 씰링 스트립
• 드라이브 헤드와 공회전 헤드 내부에 있는
2개의 진공 파이프와 연결된 0.8 진공 펌프

높은 반복성 및 정확도
Clean Room System 액추에이터는
반복 정확도가 ±0.05 mm입니다.


높은 역동성
• 최대 7 m/s의 속도
• 최대 20 m/s²의 가속도

기술적 세부사항을 찾고 고객의
Clean Room System 액추에이터 선택.

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