Internationales Patent, registriert für die Produktlinie Clean Room System (DIN EN ISO 14644-1)
Das Clean Room System umfasst Linearachsen mit Zahnriemenantrieb, die speziell für die Anwendung in Reinräumen entwickelt wurden.
Die Einheiten werden mit einem vom Fraunhofer-Institut (IPA) in Stuttgart ausgestellten Zertifikat ausgeliefert, das die Übereinstimmung mit der Reinraumklasse ISO 3 (DIN EN ISO 14644-1) bzw. mit der Reinraumklasse nach FED STD 0.01 (FED 209 E) bestätigt.
Das System verhindert, dass Partikel in die Umgebung gelangen können, in der die Lineareinheit installiert ist. Dieses wurde einerseits durch die Installation einer speziellen Dichtung erreicht, mit der die Längsöffnung des Läufers abgeschlossen wird, andererseits durch die Verwendung einer Vakuumpumpe mit 0,8 bar Unterdruck, die mit zwei Vakuumleitungen im Antriebskopf und im leeren Kopf verbunden ist. Durch den angelegten Unterdruck an den Endköpfen wird die Partikelemission aus dem Inneren der Lineareinheit gesaugt und zu den Luftfiltern abgeführt. Die Linearachsenkomponenten des Clean Room System werden alle aus Edelstahl gefertigt oder werden einer Spezialbehandlung unterzogen, um niedrige Partikelemissionen zu gewährleisten. Die eingesetzten Schmierstoffe sind speziell für Reinraum- bzw. Vakuumanwendungen geeignet.
Wenn das System in verunreinigten Umgebungen eingesetzt wird, kann an die Lineareinheiten des Clean Room System ein Überdruck von bis zu 0,8 bar angelegt werden, um den Eintritt von Partikeln zu verhindern.
Hauptanwendungen der Lineareinheiten Clean Room System:
- Halbleitertechnik
- Medizintechnik
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